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電子行業廢氣處理設備及治理技術方案

發布時間:2018/8/1 17:00:55         瀏覽人次:4000         

  在電子行業中造成環境污染的有害氣體,主要來源于芯片或者是線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。電子行業廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。所以必須治理達標才能排放。

  一般來說,廢氣排放中風量較大,VOCs濃度較低。電子工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點。電子工業廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體

  揮發性有機物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復雜,常見有機廢氣治理方法如:焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等,單獨運用或無法達成經濟高效運行,或不能滿足嚴苛的排放標準。

  焚燒法(RTO):能耗大、運行成本高,適合處理高濃度、小風量有機廢氣。

  吸附法(活性炭):投資小、工藝簡單,易飽和,必須與脫附、冷凝、焚燒等方法聯用才能滿足排放要求。

  冷凝法:與吸收、吸附等方法聯用,將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離,回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是:投資、能耗、運行費用高,冷凝回收物提純處理后,仍有相當部分液態廢棄物需要進一步處理。該方案與生產設備、生產工藝存在匹配關系,偏離這種匹配關系將提高治理成本,影響治理效果。

  沸石轉輪濃縮+焚燒法:沸石轉輪濃縮設備基本依靠進口,自主產品尚不成熟。該方案同樣與生產設備、生產工藝存在匹配關系。

  低溫等離子、光催化氧化法:揮發性有機物處理效率低,只能作為輔助性的治理手段。

  南京永研環保科技公司首先提出“高溫等離子焚燒”概念(發明專利),是掌握該技術并實際應用的企業。為有機廢氣治理開辟了一條全新的途徑。

  高溫等離子焚燒技術是高頻(30KHz)高壓(100KV)大功率電源在特定條件下的聚能放電,產生3千℃等離子態高溫氣流。

  有機廢氣在反應器中經過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高,氣體體積急劇膨脹,在高溫、高電勢的雙重作用下,有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體,其中長分子鏈裂解成單質原子,有機物清除率大于98%。

  高溫等離子焚燒裝置無需濃縮,便可直接處理低濃度、大風量有機廢氣。每處理1萬立方米/小時有機廢氣,僅消耗10kW電力。

  從資金投入和營運成本考量,高溫等離子焚燒方案要優于濃縮吸附+RTO焚燒方案。

  工藝流程示意圖:

  高溫等離子焚燒”技術優勢:

  模塊化設計,配置靈活,經濟高效,可處理從幾百立方到幾十萬立方不同濃度、流量的有機廢氣。

  無需預熱,即開即用。

  能效比高,高溫等離設備廢氣排放口溫度,比進氣口溫度僅提高幾十度。能夠處理高濃度、成分復雜、易燃易爆及含有水分、固態、油狀物的工業廢氣,實現達標排放。

  風阻小,能耗低,不消耗天然氣,無碳排放問題。沒有閥門等運動部件,能夠無故障,不間斷運行上萬小時。

  苯并芘、二惡英等難以處理的物質,瞬間分解,實現達標排放。(是垃圾焚燒尾氣排放二惡英問題的理想解決方案)

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