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电子半导体废气处理及行业废气排放标准

发布时间:2019/2/21 16:17:34         浏览人?#21361;?447         

  半导体行业作为高新技术产业往往被人误解为 “清洁”产业,但事实上,半导体生产过程中使用了大量有机和无机物,包括许多有毒有害物质,对环境危害较为严重,如不加以控制,将会产生较大的环境污染。

  据国家统计?#36136;?#25454;,截至2016年我国电子元件制造行业规模以上企业数量达5751家。我国的半导体行业市场集中度较高,主要集中在长江三角洲、珠江三角洲、环渤海以及中西部区域。产业的相对集中有利于环保治理的开展。随着国家对环保的重视,国家和地?#36739;?#32487;发布了半导体行业废气排放标准。

  南京永研环保科技公司首先提出“高温等离子焚烧?#22791;?#24565;(发明专利),是掌握该技术并?#23548;?#24212;用的企业。为有机废气治理开辟了一条全新的途径。

  高温等离子焚烧技术是高频(30KHz)高压(100KV)大功率电源在特定条件下的聚能放电,产生3千℃等离子态高温气流。

  有机废气在反应器中经过压缩、高压聚能放电成为高温等离子体。反应器压力增高,气体体积急剧膨胀,在高温、高电势的双重作用下,有机废气瞬间(万分之5秒)成为高温等离子体,其中长分子链裂解成单质原子,有机物清除率大于98%。

  高温等离子焚烧装置无需浓缩,便可直接处理低浓度、大风量有机废气。每处理1万立方米/小时有机废气,仅消耗10kW电力。

  从?#24335;鶩度?#21644;营运成本考量,高温等离子焚烧方案要优于浓缩吸附+RTO焚烧方案。

  工艺流程示意图:

  高温等离子焚烧”技术优势:

  模块化设计,配置灵活,经济高效,可处理从几百立方到几十万立方不同浓度、流量的有机废气。

  无需预热,即开即用。

  能效比高,高温等离设备废气排放口温度,比进气口温度仅提高几十度。能够处理高浓度、成分复?#21360;?#26131;?#23478;?#29190;及含有水分、固态、油状物的工业废气,实现达标排放。

  风阻小,能耗低,不消耗天然气,无碳排放问题。没有阀门等运动部件,能够无故障,不间?#26174;?#34892;上万小时。

  苯并芘、二恶英等难以处理的物质,瞬间分解,实现达标排放。(是垃圾焚烧尾气排放二恶英问题的理想解决方案)

  天燃气焚烧法因其工作机理及自身结构上的缺陷,在易?#23478;?#29190;场所,或处理废气中含有可燃成?#36136;?#38656;要考虑防爆问题。

  高温等离子焚烧技术是一个划时代的技术变革。

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客户服务?#35748;擼?a onmouseup="_czc.push(['_trackEvent', 'njyongyan.com', 'm', '新闻内页-客户服务?#35748;?#28857;击时 ','0','']);" href="tel:400-057-8077">400-057-8077
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