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2019電子工業VOCs廢氣排放標準及廢氣治理技術方案

發布時間:2019/2/22 16:42:26         瀏覽人次:7033         

  隨著電子工業的發展,政府對電子行業VOCs排放越來越重視。各地政府也出臺了相關的排放標準,為電子工業VOC治理提供了保證。永研小編匯總了相關的標準,以供參考。

  國家層面:

  2008年環保部印發《電子工業污染物排放標準 半導體器件》(征求意見稿)。規定VOCs的限值現有企業為80mg/m3,新建企業為60mg/m3。

  2008年環保部印發《電子工業污染物排放標準 電子元件》(征求意見稿)。規定VOCs的限值現有企業為80mg/m3,新建企業為50mg/m3。

  2008年環保部印發《電子工業污染物排放標準 電子終端產品》(征求意見稿)。規定VOCs的限值現有企業為70mg/m3,新建企業為50mg/m3。

  2008年環保部印發《電子工業污染物排放標準平板顯示器、電真空及光電子器件》(征求意見稿)。規定VOCs的限值現有企業為100mg/m3,新建企業為80mg/m3。

  2015年環保部印發《電子工業污染物排放標準》(征求意見稿)規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為100mg/m3,特別排放限值是80mg/m3,沒有涉及TVOCs。

  2018年環保部印發《電子工業污染物排放標準》(二次征求意見稿)規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為100mg/m3,TVOCs是150mg/m3。特排限值分別為50、100。

  地方層面:

  北京市《大氣污染物綜合排放標準》(DB11/501-2007)中規定半導體及電子產品制造VOCs的限值現有企業為50mg/m3,新建企業為20mg/m3。

  天津市《工業企業揮發性有機化合物排放控制標準》(DB12/524-2014)。規定電子工業VOCs最高允許排放濃度為80mg/m3。

  上海市《半導體行業污染物排放標準》(DB31/374-2006)。規定VOCs最高允許排放濃度為100mg/m3。

  2017年廣東省《電子工業揮發性有機物排放標準》(征求意見稿)。規定VOCs最高允許排放濃度為30mg/m3。

  2017年廣東省《電子設備制造業揮發性有機化合物排放標準》(征求意見稿)。規定VOCs最高允許排放濃度為40mg/m3。

  2018年江蘇省《半導體行業污染物排放標準》(征求意見稿)。規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為60mg/m3。

  2018年北京市《電子工業大氣污染物排放標準》(征求意見稿)。規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為20mg/m3,TVOCs是40mg/m3。

  高溫等離子焚燒技術:

  高溫等離子焚燒技術是高頻(30KHz)高壓(10萬伏)大功率電源在特定條件下的聚能放電。工業廢氣在反應器中由常溫急劇上升至3千度高溫,在高溫、高電勢的雙重作用下,有機污染成分(VOCs)瞬間被電離并完全裂解。

  經高溫等離子焚燒處理,工業廢氣中有機物(VOCs)裂解成為碳、二氧化碳、水蒸氣等單質物質。

  廢氣處理工藝示意圖:

  高溫等離子焚燒設備特點:

  強大的功率和專業的設計使工業廢氣瞬間成為3千度的高溫等離子體,有害物質清除率大于98%,符合國家指定排放標準。

  不銹鋼一體化結構, 耐腐蝕,安全可靠

  智能化遠程控制,無需專職人員值守。

  我們最先提出“高溫等離子RTO焚燒”這一概念(發明專利),是掌握該技術并實際應用的企業。為工業廢氣治理開辟了一條全新的途徑。

  “高溫等離子焚燒”技術比較“傳統RTO(天然氣焚燒方法)”有以下優勢:

  1、 連續不間斷的處理廢氣,(天燃氣RTO為間歇工作模式)這在垃圾焚燒尾氣,凹版印刷有機廢氣處理應用方面尤為重要。

  2、廣譜性:能夠處理高濃度、成分復雜、易燃易爆及含有大量水分、固態、油狀物的工業廢氣,實現達標排放。

  3、不消耗天然氣,無碳排放問題。沒有閥門等運動部件,能夠無故障,不間斷運行上萬小時。

  4、 風阻小,能耗低:處理2萬立方米/小時的燃氣RTO,為克服陶瓷蓄熱體風阻就需要功耗為90千瓦的引風機。

  而處理2萬立方米/小時的高溫等離子焚燒設備(25千瓦),連同引風機(21千瓦)僅消耗46千瓦功率。

  當VOCs類廢氣排放濃度低于200mg/m3,采用低功率密度高溫等離子處理設備,每1萬m3功耗僅為10kW。

  無論從資金投入還是從營運成本考量,本方案要遠勝于濃縮吸附+RTO焚燒方案。

  5、能效比高:節約能源,高溫等離設備廢氣排放口溫度,比廢氣進口溫度僅提高幾十度。

  6、處理效果好:二惡英等難以處理的物質,瞬間完全分解,實現達標排放。(是垃圾焚燒尾氣排放二惡英問題的理想解決方案)

  7、無臭氧排放問題(低溫等離子設備存在臭氧排放問題)。

  8、經濟適用:同樣規格的高溫等離子設備,價格不到燃氣焚燒RTO的二分之一,運營成本低于二分之一。

  9、占地面積小,自動化程度高節約人力,運營成本低。

  10、不會產生二次污染。無異味,對人口居住密集地區而言這是一個重要的考量指標。

  11、天燃氣焚燒法RTO造價高昂,大量消耗天燃氣、氧氣,增加二氧化碳、一氧化碳排放,有二次污染之慮,無法應對日漸嚴格的環境保護標準。天燃氣焚燒法因其工作機理及自身結構上的缺陷,在易燃易爆場所,或處理廢氣中含有可燃成分時需要考慮防爆問題。天燃氣輸送儲存過程可能存在因泄漏而引發的安全問題

  高溫等離子焚燒技術在工業廢氣處理方面的應用是一個劃時代的技術變革。

  高溫等離子焚燒技術將逐步取代天燃氣RTO,成為新興產業。

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